2019年11月12日 周二

硬脆材料超精密孔/边加工技术

类别
领域中心 军民融合
成果名称 硬脆材料超精密孔/边加工技术
成果推介单位
成果属性
所属领域
当前所处阶段
技术关键词
项目来源
项目起止时间
鉴定评价情况
摘要

随着现代光学技术的不断成熟和进步,光学系统越来越复杂。一方面,带孔的光学元件在现代光学系统中发挥着不可替代的重要作用,例如激光谐振腔的输出刮刀镜(通常是椭圆孔)、中大型反射式系统的主次镜芯孔(常见阶梯孔)以及特殊用途的光学元件准直孔(一般孔径比较小)等。另一方面,受特殊通光孔径的限制,各种异形的光学元件从常规的圆形光学元件到椭圆形、八边形光学元件,甚至三角形、星形光学元件等层出不穷。这类元件材质通常是单晶硅、石英以及玻璃类的硬脆材料,在进行通孔、盲孔以及特殊外轮廓的加工时,面临一定的工艺难题,如:孔/边周围的崩边难以处理;因工艺所限,孔径、孔定位和孔的轴线公差控制难度高;异形轮廓边的光学元件尺寸精度难以保证;有孔材料和特殊轮廓边的光学元件,特别是异形孔和异形轮廓边光学元件的后续抛光工艺更加复杂,面形精度和表面质量控制困难。
为解决上述难题,大连化物所设计开发了一系列加工工艺及技术,可实现各种异形孔以及异形轮廓光学元件的高质量加工,同时保证光学元件极高的面形精度、表面粗糙度和表面光洁度水平。适用于各种军、民两用高精密光学元器件加工领域。

概述
(原理、功能)
技术性能指标
当前应用情况
推广方向/形式
推广转化方式
配套条件
开发费用
开发周期
经济效益
社会效益
风险评价
知识产权状况
成果权属
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